服務專線

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戴明吉

副組長
phone 03-5917683
email [email protected]

服務項目

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智能排程最佳化服務

提升台灣製造業韌性與國際競爭力為濕蝕刻機台建構高精度排程引擎，整合機台硬體參數、製程 Recipe、Robot 移動行為與資料傳輸時間，提供最符合生產線需求的即時排程方案。系統可於數分鐘內輸出最佳排程結果，協助產線提升 WPH、降低瓶頸與減少無效等待。

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智能專業技術諮詢與解決方案規劃

AI設備能量加值，提供產業技術解決方案，如導入AI模型或系統所需之關鍵條件與效益評估。

AI共通性模組

1

智能排程最佳化服務

AI 模型可精確模擬晶圓於濕蝕刻製程中自 LoadPort 進入、多腔室加工至返回 LoadPort 的完整運行路徑，在此過程中同步計算各步驟之加工時間、支援 Group / 順序 / 單一跑法等多種腔室配置邏輯、處理多 LoadPort 進出片策略並提供秒數可參數化之 Recipe 設定，同時納入 Tank 多種換酸機制對製程排程與機台可用性的影響，使模擬結果能準確反映實際生產行為與設備限制。

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製程小幫手 AI 模型

「製程小幫手」AI 模型採用 LLM（Large Language Model）結合 RAG（Retrieval-Augmented Generation）之架構，不限於 AOI 、 PVD 機台共用的智慧決策與知識推論模組，透過整合設備 Log、製程參數、量測與檢測結果等多源異質資料，支援缺陷類型判讀、製程異常原因推估、參數調整建議與標準作業知識即時查詢，形成可持續學習與擴充的製程知識中樞，協助工程人員在複雜製程環境中快速取得可信之決策依據，提升問題處理效率與整體製程穩定度。

AI人才培訓

menu_book 半導體後段製程AI模型人才培訓

實作課程含基礎理論課程及試量產線場域習作等人才培訓，聚焦半導體後段製程的能量開發。

check_circle AI 排程最佳化概述
check_circle 鑑別式與生成式AI基礎理論

場域高階設備

蝕刻機台示意
蝕刻機台示意
蝕刻製程 AI 排程結果
蝕刻製程 AI 排程結果

場域資訊

location_on

地點

工業技術研究院
（新竹縣竹東鎮中興路195號）
schedule

服務時間

星期一至星期五
09:00~12:00 / 13:00~17:00
（國定假日除外）