半導體真空尾氣系統關鍵零組件自主開發計畫

計畫類別	前瞻技術研發計畫
公司名稱	台中精機廠股份有限公司、日揚科技股份有限公司、台穩精密工業股份有限公司
核定補助款(千元)	54,960
核定自籌款(千元)	90,140
核定總經費(千元)	145,100
核定年月	115年7月

• 發布日期：2026/07/31
• 最後更新時間： 2026/07/31
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