強調創新與團隊合作 開創臺灣半導體製程新局

 

獲得青年創新希望獎的周碩彥，從小即立志朝高深學術研究領 域前進，在交大念書時曾得過國科會大學生研究創作獎，博士班畢 業後進入台積電工作，多次參加公司內部論文競賽亦名列前茅，在 獨立作業時盡心投入，與研究融為一體，卻又不忘注重團隊合作的 重要性，深層思考所執行的任務會給產業帶來什麼貢獻，從他身 上，可以清楚看到一位專業研發人員的人格特質，那就是視為研發 工作不只是一項「職業」，而是一項「志業」。

強調創新與團隊合作 開創臺灣半導體製程新局

青年創新希望獎－台積電奈米製像技術發展處 周碩彥 經理 

文／唐祖湘
 

2002年8月獲得交大電子所博士學位的周碩彥，畢業後進入 台積電服國防役，展開了他的研發生涯，由於半導體製程研發是 台積電確保技術領先的基礎，在半導體製程尺寸微縮過程中，微 影製程不但是關鍵製程之一，更是其他模組製程開發所必須的先 驅技術，一路由40奈米至28奈米，乃至目前開發中最先進的20奈 米製程技術，光學微影製程面臨越來越多物理極限上的挑戰，也 需要研發出更多新穎技術來克服障礙，以達到量產標準，在這場 世界性的半導體製程競賽中，年紀還不到40歲的周碩彥，對臺灣 半導體產業技術做出顯著貢獻，因此被推薦獲得國家產業創新獎 「青年創新希望獎」之殊榮。

「公司研發團隊所累積的技術實力， 加上長官願意給予機 會，才使我能有此高度與其他產業優秀代表同台競技。」周碩彥 謙虛地把成就歸功於他人，事實上，他在獨立作業與團隊合作方 面均表現出色， 不僅與同事共同發明了逆轉微影技術， 取得了 臺、美、中、荷4國專利，並領導小組開發出台積電20奈米製程光 源光罩最佳化技術，更結合自身對光學理論、數值分析與程式設 計專長，獨立開發出40奈米及28奈米微影疊對誤差分析技術與控 制系統，針對公司研發環境客製化之疊對誤差修正模擬與分析軟 體，為台積電的40奈米技術奠定了成功的基礎。
 

面臨論文危機　投身微影研發

凡事做到最好，是周碩彥給人的第一印象，從小到大他都是 資優生，高中以第一名成績畢業，順利考上交大電子工程系，4年 後以班上第三名優異成績通過推薦甄試；進入同系研究所固態電 子組就讀，碩一結束後更直接轉入博士班就讀，求學過程可以說 是一帆風順，但周碩彥笑說，念博士班時遭遇到生平第一次「裁 員」，帶給他不小的打擊，卻也埋下他日後投身微影製程研發領 域的伏筆。

周碩彥回憶，當年因自己對電磁理論與製程模擬很有興趣， 聽從指導教授的建議，選擇以半導體微影製程技術作為博士論文 研究方向，恰逢工研院電子工業所展開半導體深次微米計畫，購 置臺灣第一台248奈米波長深紫外線曝光機作為0.18微米半導體 微影製程研究，在指導教授推薦下，周碩彥加入該計畫擔任研究 助理，得以使用最先進的機台同步進行博士論文，沒想到，2000 年時該計畫突然宣告腰斬，對非編制人員的周碩彥來說，宛如遭 逢晴天霹靂，「當時論文實驗資料還在蒐集，理論也尚未建立， 瞬間面臨解散，讓人茫然不知所措！」

所幸，劉如淦與高蔡勝兩位博士知悉他的情況，熱心讓他在 該計畫處理資產的剩下幾個月內，仍能使用工研院的機台，得以 處理實驗資料，最後如期完成論文，確立往半導體微影製程技術 發展的方向，之後進入台積電服國防役，4年服役期間，周碩彥見 識到在半導體微影技術執世界之牛耳的台積電文化，並與內部許 多傑出研究人才相互砥礪，深感到受益良多，役滿後即決定繼續 留在公司長期發展，而曾經伸出援手的2位博士，日後更成為他的 長官，這段經歷令他不禁感嘆：如果當時延宕個1、2年，人生際 運可能就大不同了。
 

個人創新不輟　強調團隊合作

在台積電服務近十年的時間，周碩彥感受最深的，就是研發 團隊合作的重要。

以周碩彥所服務的奈米製像技術發展處為例，除了要產生新 的I d e a ， 如何落實與推廣， 更是一門學問， 由於半導體製程包 括上百道工作程序，牽一髮動全身，任何步驟改變都可能影響效 率，要說服其他單位接受就格外困難，但周碩彥用以克服的方式 是：在開發技術之餘，一併提出相對應的軟體解決方案，讓其他 同仁產生更多發想，甚至一起參與開發，讓新製程運作順暢。

「研發注重個人創新， 但要實踐就得靠團隊合作運作來執 行。」周碩彥指出，大四一次專題研究，開啟了他對撰寫製程模 擬分析軟體的興趣，該專題還獲得了國科會大學生研究創作獎， 到台積電工作後，他發現每回開發新技術，若僅用書面資料交付 給下一階段同事，效果不盡理想，從此都會主動寫好對應的模擬 軟體，根據同事要求予以修改，效果即改善許多，「每個部門有 績效考量，如果A部門提出的好想法，B部門不願採用，將造成公 司內部研發力量的抵銷，唯有拋棄本位主義，彼此激發出更多想 法，研發力量才更強大。」

周碩彥更透露一段小故事，當初得知被長官推薦參選青年創 新希望獎時，自己也感到驚訝，因為光就專利與發表論文數量來 看，他在公司的排名並非數一數二，一度想要推辭，但長官認為 他不僅擅長於研發，並主動分享開發軟體增進驗證效率，讓關鍵 技術得以實際推廣在生產線上，對臺灣半導體產業貢獻良多，仍 然力薦他參選，果然順利獲獎。
 

當半導體小兵　盡力貢獻所長

「當初只希望公司生產單位頒一張感謝獎狀，肯定個人的小 小貢獻就好，沒想到得到國家級的榮譽！」周碩彥笑說，他自認 不是一個非常聰明的人，但深信勤能補拙，自己是在不斷模擬演 練與錯誤中，去蕪存菁產生好的想法，並嘗試將想法變得簡單且 容易讓人接受，這種處理方式能帶給半導體產業正面的影響，自 己也感到高興，並對於一路以來提攜他的長官，認同他長期以來 的努力表達感謝。

對於未來的研發重點，周碩彥表示，自己一直對學術研究很 有興趣，這幾年也在軟體開發部分有不錯表現，個人目標希望能 繼續朝此領域精進；就整體工作而言，目前微影製程可說是碰觸 到物理極限，每一代製程研發的時間愈來越長，需要更多技術去 克服，非常需要創新，也成為他研發工作的關鍵內容。

另外，由於現階段台積電是以20與14奈米製程技術為研發重 心，整個臺灣半導體產業亦面臨國際大廠來勢洶洶的競爭，周碩 彥立下期許：「雖然本人只是一個半導體小兵，但會砥礪自己在 未來職涯中，持續投入在20與14奈米製程技術改進方案，希望能 對公司、產業與國家貢獻一份心力。」
 

感 言＞周碩彥 經理

能夠獲得青年創新希望獎殊榮， 個人的心情其實是喜悅與 惶恐兼有之。惶恐的是在半導體技術研發上浸淫越久， 越覺所 學不足。尤其在目前正處於開發20奈米與14奈米製程技術的過 程，光學微影製程面臨許多物理極限上的挑戰，更需我輩貢獻智 慧與創意。此外半導體晶圓製造加工程序繁複，製程步驟多達數 百道，半導體量產技術的進步實際上是結合了研發團隊眾人之力 成功，個人不過是盡一己之本分而已。勉強說有什麼值得與大家 分享的，那就是個人相信出類拔萃必須來自不斷的練習與嘗試， 樂於用雙手實踐才能夠真正落實創新，另一點是我們奈米製像技 術研發團隊大家長林本堅副總對團隊成員的期許：互尊、互信、 互助。本人深信研發工程師必需具備利人利己的價值觀才能將自 己的技術轉化為團隊實力的一部份，實踐以上的信念一直是本人 努力的目標。最後我想要與台積電研發組織同仁共同分享這份榮 耀，特別感謝林本堅副總與高蔡勝、辜耀進、嚴濤南、劉如淦、 陳俊光、柯志明、陳立銳、許照榮等長官對我的指導與提攜。最 後感謝父母、大哥、與妻子對我的支持，讓我無後顧之憂而能在 技術研究上繼續精進。

• 發布日期：2014/10/03
• 最後更新時間： 2024/05/06
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