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沈香吟副處長

台積電能站穩全球晶圓代工產業龍頭的領導地位，擁有優越的先進技術製造能力，是其超越競爭對手的重要優勢。沈香吟從台積電蓋第一座8吋廠起便參與製造規劃工作，並為12 吋廠設計出高效率自動搬運系統，甚至積極參與未來18 吋晶圓廠的藍圖訂定，橫跨8 吋至18吋的完整歷練，使她足以成為女性科技從業人員的楷模。

從八吋到十八吋晶圓以完整製造歷練成為楷模

創新女傑獎－台積電製造技術中心先進製造建構專案副處長　沈香吟

文／勾淑婉

晶圓製造設備是12吋晶圓製造成本中最大的一部分，如何使所有製造設備都能發揮最大生產能力，是取得製造成本優勢的重要關鍵。沈香吟所開發的創新分析技術，可分析上百種複雜的半導體生產機台，找出各機台中可以增進生產力的關鍵因素。此外，當許多競爭廠商的機台生產效率還受限於傳送系統能力時，她也已經利用創新的模擬技術，以最低成本設計出最有效率的自動傳送系統，協助台積電實現了高效生產的目標。

同時，沈香吟還是台積電上海廠開疆闢土的第一任製造部部經理，讓工廠從無到有，達成量產成功的里程碑。現在，她以過去領導先進12吋晶圓廠製造建構專案的經驗，積極參與未來18吋超大晶圓製造機台的原則制定，使她的影響力已從公司內部，擴大到更廣泛的半導體產業。

職業生涯　從興建八吋廠開始

沈香吟1991年畢業於中原大學工業工程學系時，台灣的半導體產業還處於萌芽階段。當時的她對這個新興產業沒有概念，第一份工作選擇加入德碁半導體擔任製程工程師，「只是因為它是知名企業宏碁的子公司，我想這就應該錯不了，」她說。

「累積了一些經驗後，到1994年，聽在台積電工作的同學說，台積電要蓋第一座8吋廠，有職缺，因此就在同學的介紹下加入台積電，一做就到現在。」她回憶說，「當時籌建8吋廠的長官是現任台積太陽能及台積固態照明董事長暨執行長蔡力行以及台積電執行副總暨共同營運長劉德音。雖然壓力很大，但在這些優秀的長官帶領下，讓我能在良好的團隊氛圍中一路被訓練、培養上來。也讓我有機會歷練學習。」以一位女性身分參與製造現場規劃的工作，沈香吟並沒有感受到任何困擾，她說，「台積電是一個對女性很尊重的職場，對於女性工程師更多了一份包容與體諒，反而讓我不感到困難。」

「尤其是，我很早就進入台積電，多年來在公司累積了足夠的人脈與資源，長官也都認識瞭解我，讓我能一路成長至今。女性的身分，對我來說，有時是助力，反而不是阻力。」

沈香吟的職業生涯就隨著台積電在全球晶圓製造版圖上的發光發熱也亮了起來。她歷任三廠、七廠製造部，陸續被擢升為副理和經理，並於2004年起擔任製造部門經理。

台積電副總經理林錦坤表示，「在半導體製造管理領域，長久來皆是男遠多於女的情況，台積電創廠以來曾任製造部門經理者或已破百，沈香吟是這個領域中第一位，截至目前為止也是唯一一位女性部經理。她所引發的楷模效應，已激勵不少女性同仁於此領域相繼晉升。」

從無到有　助上海廠量產成功

2004到2009年派駐上海，擔任上海廠第一任製造部門部經理，是沈香吟印象非常深刻的經驗，「上海的環境、文化、員工條件完全不同，要如何完成長官交付的任務，是一項重大挑戰，」她說。

「那時我們從台灣工廠移機到上海，在沒有當地產業鏈資源的情況下，必須從無到有，克服種種技術、人力、文化及法規上的障礙。我常常得應變各種不曾想過的情況。」沈香吟舉例說，「那時我們在上海甚至連無塵衣都買不到，還必須從台灣帶過去。而且為了養成當地基層作業員的衛生習慣，不至於造成進入無塵室後的困擾，還特地制定了安全規範手冊，諸如這些狀況，有許多真是超乎想像的。」

「如果我當時抱持著既定的想法與執著，將很難面對這些各式各樣的挑戰。要能獨當一面，一定要能因應不同的環境和人，自己尋求資源，找出解決問題的辦法。」

沈香吟很感謝長官支持與成員配合，在團隊的合作力量下，能將上海廠製造部門擴展到基層幹部近千人，並從第一片晶圓產出到月產能30000片以上，成功將台積電製造技術深根於上海廠，還培養了一批當地的優秀員工。

積極參與　催生超大晶圓技術

除了上海廠的績效卓著，沈香吟在台積電的重大貢獻還包括設計高成本效益的自動化傳送系統，以及運用創新分析技術，提升關鍵設備生產力。

她解釋說，「自動化傳送系統就像是晶圓廠內的交通網路系統。台積電的12吋超大晶圓廠（Giga-fab）無塵室中，一天平均的傳送需求高達50萬次，透過此系統，我們可將各廠區的12吋產能串連起來共同運用，能進一步提升我們的成本與效率優勢。」

此外，晶圓製造設備是12吋晶圓製造成本中的最大一部分，為使所有製造設備發揮最大的生產能力，沈香吟近年來開發出創新的分析技術，得以將半導體設備中複雜的生產行為，有效的加以分析拆解，找出各個機台中可以增進生產力的關鍵因素。

由於沈香吟在12吋晶圓製造能力的貢獻，針對近來新興的18吋晶圓技術，她也積極參與，包括擔任台積電參與半導體組織ISMI中幾個重要計畫的代表人，在十八吋晶圓計畫諮詢集團（450mmProgramAdvisoryGroup）中，扮演評估階段關鍵角色，訂定製造機台發展原則，評估長期成本效益。

沈香吟表示，「過去十二吋晶圓廠業界標準的訂定，台灣並無參與，以至於生產設備設計的整體考量並未符合台灣代工產業多量多樣的生產模式需求。因此我們一方面積極參與18吋晶圓的前期討論，與國際大廠共同制訂產業標準，使能符合未來代工模式的產業利益；另一方面也希望台灣在18吋晶圓生產設備的供應鏈能佔有一席之地。」

擁有橫跨8吋、12吋、18吋晶圓製造規劃與管理的豐富經驗，以及台灣、大陸及國際組織相關的工作資歷，陳香吟的成就的確值得效尤。她謙虛地說，「很幸運能在台積電這樣的卓越環境中不停成長，也勉勵後進者，年輕時要多方嘗試，不要挑工作，不斷累積經驗，往往會有意想不到的工作，而唯有把自己準備好了，機會來了才能發揮！」

感言＞沈香吟副處長

創新不是憑空想像，除了要不斷接受新知去尋找靈感，更必須有長期經驗的積累與全身心的投入，惟有時時去想如何不斷的求進步和突破，才能累積創新的能量。更重要的是如何把想法與實務結合，提高競爭力，替組織帶來最大的利益,得到這個獎，最要感謝的是我的團隊，好的成績不是靠個人一己之力就可達成，而是團隊的智慧和努力經年累月達成的結果。也很感謝公司給我很多機會能有不同的歷練，不管是在國內各個工廠的歷練，海外子公司的管理經驗，或是參與國際性組織的討論，都能讓我從更大的目標下去提前規劃未來該走的方向、同時也因為有家人的全力支持，我才有辦法同時兼顧家庭和事業。

謝謝評審委員給予的肯定，台灣的產業需要更多新的想法投入，不管是產品的創新，或是藉由新的商業模式或管理模式去開發更多的新市場，唯有如此，整個產業才會向上提升，也能讓台灣的優秀人才有更多發揮的空間。