高科技製造是臺灣重要的經濟動脈， 而廠房設施又是其基礎，對生產績效有著直接的影響。莊子壽已在台積電服務超過25 年，累積了興建30 座晶圓製造廠房的深厚經驗。他不斷將最新的節能與創新建築概念導入新廠建置中，不但協助台積電以穩定製造基礎維持領先地位，更秉持社會責任感，將其經驗無私地分享給其他企業，致力於推動綠色製造的在地深耕。

高科技建廠專家　以推動綠色製造為己任

創新菁英獎（一般個人組）－莊子壽
台灣積體電路製造股份有限公司新廠工程處處長

文／勾淑婉

在台積電不斷追求製程技術領先，並穩居晶圓代工龍頭地位的過程中，穩定、高效、安全的廠房建置往往是其中不為人所注意的幕後功臣。

回顧台積電從草創初期需仰仗國外工程顧問公司規劃設廠的半導體界新兵，一直到現今已獨當一面，領先業界進入16 奈米，甚至朝10 奈米、7 奈米線徑的晶圓生產發展，可以想見這是如何一段篳路藍縷，從無到有的過程。

此外，隨著製程的持續微縮，晶圓製造廠房的興建不僅須滿足潔淨空間、環境污染、精密量測、以及消防安全等條件的提升，更需能縮短興建時程，才能協助公司掌握市場先機。

台積電新廠工程處處長莊子壽便是達成這些重要任務的靈魂人物。更難得的是，考慮臺灣的資源有限，他念茲在茲的，是要將綠色概念導入廠房興建中，並透過參與產業組織活動，將經驗擴散出去，為產業與社會貢獻一己之力。

累積實務經驗 投身製程工作

莊子壽出生於花蓮鄉下，父親是林務局伐木工人。考量家中經濟狀況，考高中時，父母原希望他念師專，但因興趣使然，決定就讀花蓮高工機工科，希望能盡快學得一技之長，改善家中環境。之後，考上高雄工專( 現為國立高雄應用科技大學) 模具科以及工業技術學院( 現為國立臺灣科技大學) 二技機械系，取得學士學位。

苦讀出身的背景，再加上技職體系的訓練，讓莊子壽累積了扎實的實作能力，並在投入職場的第一份工作－擔任德州儀器(TI) 臺灣分公司製程工程師時開始嶄露頭角。

「當時我是封裝廠的製程工程師，為特殊IC 開發新的封裝製程。TI 的資源豐富，訓練完整，我在一年半的時間內學習到很多寶貴的經驗，特別是英文、做實驗、分析統計數據這方面，」他說。

雖然在TI 會有不錯的發展，但懷抱理想的莊子壽卻有不一樣的想法。「1989 年，那是臺灣半導體產業剛起步的階段，我希望能為臺灣產業盡一份力，便毅然離開TI，進入台積電。」

「在台積電一開始是蝕刻設備工程師。記得有一次機械手臂故障，我因為過去的經驗，很快把它修好，再加上英文的優勢，能力就被看到了。」

很快地，一年半後莊子壽被擢升為Fab 2 廠擴散及薄膜設備副理。到1993 年，在蔡力行領軍興建台積第一座8 吋廠Fab 3 的號召下，莊子壽主動加入，開始了從事廠務工作的起點。

深具前瞻思維 帶動廠務革新

自此，隨著台積電的規模逐漸擴大，莊子壽歷任美國、新加坡、南科、上海等各地的建廠工作，並且實現了多項創新之舉，包括：1989 年為Fab 1 廠建立第一個設備量測微塵方法、1995年設計全球第一個大型FFU ( 風機過濾機組) 潔淨室、1997 年率先全面使用金屬製程排氣風管、以及2008 年獲得第一個LEED/EEWH 雙認證綠廠房等重要成就，終於造就了他今日半導體建廠專家的地位。

回顧這段歷程，也似乎看到了台積電從草創到現今成為晶圓代工龍頭的縮影。他說，「以我們率先採用大型FFU 潔淨室為例，在當時由於未有先例，風險高，要改變是很不容易的。」然而，由於採用FFU 能帶來30% 的節能效益，在莊子壽的堅持與推動下，現已成為業界建置潔淨室的標準做法。

「節能、安全、累積自主技術」是莊子壽一貫的理念。「早期臺灣科技廠房曾發生過幾次火災，主要是由於採用塑料風管造成的。我們率先採用金屬風管，雖然成本較高，但能有效預防火災的發生，這些都是值得改變的做法。」

儘管專業表現優異，然而，對莊子壽來說，1996 年外派美國擔任Fab11 廠建廠專案經理的兩年期間卻面臨了不同的考驗。

「在美國負責廠務期間，除了要瞭解美國法規之外，還需與當地的員工磨合」，他不否認，當時的他有些恃才傲物，個性較為急躁，在管理上遭遇很大的瓶頸，不知該如何完成任務。

「那段期間大概是我最低潮的時期，」他說。「幸好，當時的總經理Ken Smith 給我很多指導，讓我知道如何從更高的層次來看問題，視野拉大了，解決問題的方法也就出現了。同時，也讓我的個性更為圓融，這對我來說，雖然辛苦，確是成長、歷練的重要過程。」

一路以來，莊子壽感謝許多貴人的協助，像是國中、高工時期的老師，對他在求學態度上的影響，以及帶領他進入廠務工作的蔡力行、鞭策他持續進步的劉德音，以及臺灣大學土木工程學系張陸滿教授給他亦師亦友的指導與完整訓練。

秉持終身學習 延續技術傳承

在莊子壽的帶領下，台積電從2002 年興建Fab14 廠起不再聘用總顧問，由新工處全權負責，並分別於2008 與2012 年建立28/20 以及16/20 奈米廠房設計的自主技術。同時，他致力推動綠建築，也使台積電成為科技業貫徹永續經營理念的領頭羊。

為了跟上基礎研究的步伐，並持續追求創新，莊子壽更是抽空就讀國立臺灣大學博士班，並已於三年前取得博士學位。

他的指導老師張陸滿教授除了對莊子壽的學習、創新精神大為讚賞外，並指出，「他是一個誠實可靠、剛正不阿，又能虛心接受他人意見的人。而他對工安、生態保護沒有妥協的態度，也真正影響了周遭的人，是非常難得的。」

展望未來，莊子壽希望能將他豐富的建廠經驗擴散、傳承下去。為此，莊子壽參與成立了「SEMI 臺灣高科技廠房設施委員會」。

他期望能透過SEMI 的機制，把技術與知識擴散出去，讓廠務能成為一個在地產業，甚至推動臺灣成為亞洲重要的廠務技術中心，「我也希望能把綠建築的概念與技術擴大到園區的其他業者，讓大家共好，也同時培養臺灣本土設備業者建立相關的技術能量。」

最後，他期勉後進者，「我想創新是我的工作DNA，否則早就被不斷進步的半導體產業淘汰了。進入社會才是真正學習的開始，秉持著終身學習的精神，念甚麼學校並不重要，工作態度與習慣才是最重要的。」

感 言＞莊子壽 處長

感謝評審委員對台積電新廠工程在廠務創新給予的肯定，廠務在高科技產業雖然只是支援性質組織，但卻是支撐生產製造的基礎，所以廠務的創新與進步，仍然是臺灣推動綠色製造重要的一環。

廠務工作範圍廣泛，廠務創新必須考慮不同層面的需求，例如安全、環保、先進技術、生產效率、及供應鏈發展。因此廠務營運的創新應包含：創新管理、創新技術、及創新產業發展平台。另外；由於廠務人才專業的多樣性，除了負責本業的工作外，若有機會亦可利用這些專業技術服務社會，善盡企業社會責任。

最後我希望將這份榮譽與台積電的廠務夥伴共同勉勵，期望團隊可以成為高科技廠房及廠務設施產業創新的發動機，讓創新的廠房及廠務設施繼續支援臺灣高科技產業的發展。

• 發布日期：2018/06/15
• 最後更新時間： 2024/05/07
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