以創新思維投入製程研發　 展現半導體技術長才

創新菁英(女傑組)-王屏薇【台灣積體電路製造股份有限公司研發平台二處靜態記憶體專案副處長】

文/ 勾淑婉

隨著半導體製程微縮至奈米世代，不斷提升的技術複雜度，以及日漸趨近的材料物理極限，都已為研發人員帶來更嚴苛的挑戰。如何持續透過每個製程節點的微縮，讓客戶仍能享有縮小晶片面積、提升元件效能、降低製程成本的效益，更是製程研發人員責無旁貸的目標。

專精於元件設計佈局與製程技術的王屏薇，曾在90 奈米製程世代，提出創新的電晶體一維佈局黃色最佳化製程，成功縮小晶片面積，不但大幅降低成本，更是從此改變產業界之後數個世代的晶片佈局。

而進入20奈米世代後，她提出的「新一代製程技術之創新開發與設計暨量產導入平台」，透過將製程、設計、量產進一步統合，不但讓研發、量產、客戶三方同時取得成功，已創造出全球最小20奈米晶片密度，提升了台積電在先進製程的競爭力。

熱愛物理 享受動腦研究樂趣

王屏薇形容自己是個喜歡冒險、不怕困難的人。她大學主修化工、碩士攻讀材料，在工作兩年後又重回學校，取得交通大學電子所博士學位後，決定進入半導體產業。

「我的第一份工作是在工研院材料所擔任感測元件工程師，開始對半導體產生興趣。在取得博士學位後，先是在華邦電擔任研發工程師，後來進入世大電子擔任研發副理。之後由於台積電收購世大，而於2000年成為台積電的ㄧ員。」

「我一直喜愛物理，也熱衷於探索自然界普遍存在的物理原則。從化工轉唸材料和電子，對我來說，只是回到自己喜愛的道路上。也唯有找到真正的興趣，才能樂在工作，享受工作帶來的成就感。」

王屏薇進入半導體產業時，產業才剛起步。「我是從0.35微米邏輯基礎製程開始的，曾多次派往大型設計公司洽談合作計畫，解決客戶難題，因而逐漸累積了半導體技術基礎。」

突破傳統 展現研發工作實力

一個令王屏薇印象深刻的經驗是，她曾於2004年被派去美國參加Motorola 80奈米SOI技術共同研發，最後成功達成技術移轉的任務。「在與國際性專業人員共同開發技術的過程中，獲得了團隊成員的肯定、尊重與信任，讓我對自己身為女性工程師的角色更有信心，也更知道自己的潛能所在。」

王屏薇的專長是半導體製程研發，透過設計佈局與製程的結合，達到晶粒面積最小化的目標。她的一項重要貢獻是在90奈米世代，提出突破性思維，導入一維佈局電晶體的黃光最佳化製程，「我是一個天馬行空的人，常常異想天開，不拘泥於傳統」，她說。

「在90奈米之前，電晶體是以二維方式佈局在晶圓上。然而，為了讓業界在邁向先進製程後，仍能保有縮小面積的優勢，因此我和團隊成員提出了一維佈局的概念，事實證明可行，也從此改變了業界的佈局設計模式。」

她特別感謝當初提出這項創新概念時，長官米玉傑研發副總的支持與信任，給她充分的空間，能夠放手嘗試有別於傳統的方法。

米玉傑也對王屏薇的創意大表讚賞，他指出，「當時業界仍延用傳統佈局方式，但進入90奈米世代後，我們面臨了更嚴苛的考驗。屏薇和她的團隊提出一維佈局的全新方式，由於沒有先例，我們一開始也持保守態度。但她做了很多的努力，證明她的想法是可行的，這種堅持做對的事情的精神，確實讓人印象深刻，也充分證明了她的能力。」

隨著製程持續微縮到20奈米世代，王屏薇更提出了「新一代製程技術之創新開發與設計計量產導入平臺」解決方案。

她解釋說，「我們從2011年開始這項計畫，到2013年完成。透過設計與製程的最佳化設計，我們突破了20奈米操作電壓無法降低以及高漏電流的困擾。此外，我們也提出了單一佈局的概念，使產品跨工廠都有單一製程，有效控制多種製程的複雜度，可加速客戶產品上市時程，並創造客戶及代工雙贏的局面。」王屏薇已針對此創新技術，發表了約70篇專利。

「我們都知道平面式電晶體的製程微縮到28奈米已走到瓶頸，到16奈米製程已開始朝三維的FinFET 製程移轉。然而透過此20奈米技術的突破，仍能取得成本/效能優勢，可以說延長了平面式電晶體一個世代的壽命，這對晶圓代工和晶片設計業者來說，都是深具意義的。」

而在最新的10奈米先進技術上，王屏薇亦利用此平臺加速研發腳步，「我們在短短的8個月內便成功展示10奈米技術的先期成果，包括能在低操作電壓下正常運作的10奈米晶片，已吸引了重量級設計業者與台積電合作的高度意願。」

追求創新 持續探索未來發展

在一路投入研發工作的過程中，王屏薇說，「我知道我的天賦在此，在台積電的環境中可以充分發揮自己的能力。」她也很慶幸自己在職場上並沒有遭遇過重大挫折。「不過身為一位擅長獨立作戰的工程師，與帶領團隊共同完成專案的領導者大不相同，這不是只靠技術就能完成的。」

「對此我非常感謝台積電設計應用處長張麗絲對我的鼓勵與指導。讓我了解到，女性工程師反而是需要主動跨出第一步的人，才能在男性為主的科技業中，建立團隊，共同達成目標。」

另一方面，王屏薇也努力兼顧家庭生活，尤其在女兒的教育上。「科學與物理原則就在我們的生活中處處可見。從小我都用生活化的教法教導女兒，讓她能領會數理與邏輯思考的樂趣，也因此一路品學兼優，順利考上理想的大學。」

她的團隊成員楊昌達經理亦表示，「王屏薇是一位對工作非常有熱情、專注的人，而且有非常多的點子，帶領我們一直持續創新。身為一位領導者，她更是採用不厭其煩、循循善誘的方式，來引導我們。」

在帶領團隊克服層層技術挑戰的過程中，王屏薇表示，「腦力激盪、激發團隊創意是我最常做的事。我們很幸運，能站在技術研發的前端。透過天馬行空的發想、經常參與國際會議學習不同的想法與經驗，才能讓創意想法收斂，最終成為可行的方案。」

面對後矽晶時代來臨的下一個技術浪頭，王屏薇認為，人才培育是最重要關鍵。她鼓勵後進者應勇於接受挑戰，並培養創新精神，不要安於現狀，不要只是做為一位追隨者，如此不僅能享受創新的樂趣與成就感，還能帶動研發成果，為產業貢獻心力。

感言：台灣積體電路製造股份有限公司研發平台二處靜態記憶體專案副處長 王屏薇

能夠代表台積電獲得這次的獎項，我深感榮耀。首先，要感謝台灣在半導體產業及學界投注豐富的資源，讓台積能夠不斷地突創新，成為代工界龍頭，帶領半導體產業站上世界尖端。也感謝公司研發部門長官們給予的絕佳機會及信任，更感謝團隊通力合作，突破關卡，提供最新技術 並取得市場最大商機。

屏薇在化工、材料、半導體製程及電路設計的跨界學習，得以在面對技術的創新能勇敢挑戰，並且提出不同的做法，同時不斷地參加世界級的國際會議，吸取新知， 技術交流，並對工作全力以赴。

如果能給新進一些建議，則是期許他們能選擇最有興趣的工作，樂於投注全部精力，結合不同領域精華，勇敢創造新機會，相信自己，放眼世界，創造紀錄。對女性高科技人更加建議，精心安排家庭及工作，兩者均可雙贏。

• 發布日期：2022/07/30
• 最後更新時間： 2024/05/06
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