打好專業基礎、保持旺盛好奇心、善用團體力量，才能讓步伐持續前進。

紀志堅 經理
台灣積體電路製造股份有限公司
先進設備暨模組發展處

創新菁英－青年組

用好奇心創造價值 紀志堅永不停歇的研發魂

從小就對世間萬物充滿好奇的紀志堅，臺大博士班時期就拿下國家級和產業指標性獎項，進入台積電後，他持續專心研發，在不同期程的奈米製程中，他不斷研發出可提升晶片效率、產線製程的技術。除了技術，他也與公司內部不同部門合作建置各種平台，讓同仁的研發工作更精準、更有效益。

半導體後段製程中最重要的目標之一，是透過金屬內連線連接並正確的導通前段的元件，才能使其發揮應有效用，同時，此金屬內連線必須同時擁有低阻值及高可靠度等特性，晶片效能方可得到最大的發揮。台積先進設備暨模組發展處的經理紀志堅，在2008 年加入該公司的研發單位，參與及負責的部分為半導體後段製程的金屬內連線之研究與開發，迄今為止，在20 奈米、16 奈米、10 奈米、5 奈米乃至於現在的2 奈米製程都有創新成果，所研發的多項技術對於半導體製造的良率提升、成本降低都有卓越貢獻。

善用好奇性格 投入實驗創新

小學時某天，當同學還在公園盪鞦韆、溜滑梯時，紀志堅自己一個人在家，他正在動手拆爸爸新買的手提音響，「好奇為什麼這東西會發出聲音？於是動手拆解想找出答案。」想當然爾，他裝回去的零件和架構並不完整，「結果爸爸下班後按下收音機電源，收音機立刻因為短路燒毀而冒出濃濃白煙，整棟房子也因此跳電。」幸運的是父母親了解原因後並沒有太過苛責，讓這顆探究解答的好奇心，非但沒有被壓抑還跟著他一起成長，「這種追根究柢而得到滿足的感覺，讓我深深著迷。」

對萬物的好奇心，讓他一直有著濃濃的求知慾望，並且將此轉移到書本上，當年進臺大碩士班、博士班他都是榜首，在研究所求學期間時更拿下科林研發創新論文獎和斐陶斐榮譽會員資格等殊榮。會有如此亮眼的成績，除了嚴格的自我要求及專心致志的研發心態外，他認為臺大莊東漢教授的教學方式更對他有極大啟發。當他在莊教授主持的臺大材料所電子構裝實驗室中攻讀碩士及博士時，無論成果是否符合預期，莊教授都會用樂觀態度跟學生一起討論，進而讓學生從中學習到寶貴的經驗。「老師對學生的基礎課業與知識原理要求非常嚴格，但如果我們有新的想法或是獨到的創意，他也非常鼓勵設計實驗來驗證其正確性及可行性。這種開放式研究風氣也深切地影響了我，讓我在往後遇到挫折時可以用正面態度勇敢面對」，紀志堅在採訪中數次提到。

在莊教授的鼓勵下，紀志堅對於參與國家級的競賽並不陌生，他將在研究室第一年研究的成果「在紅外線偵測器冷卻系統球型容器」投稿，參與了經濟部工業局在2005 年主辦的輕金屬創新應用精品獎與設計競賽，並獲得機械材料組第一名的殊榮。

研發新製程 提升半導體效能

對於進入台積這件事，他自己和身邊人都不意外。「求學時我就被台積核心價值深深地吸引，特別是其中的誠信正直與重視創新。」因此拿到博士學位後，他如願加入台積研發單位，負責半導體製程中的後段金屬內連線研發。

從2008 年至今，紀志堅一路參與20 奈米、16奈米、10 奈米，一直到最近的5 奈米、2 奈米研發專案。剛進台積的第二年，他就研發出自動形成擴散阻障層，可有效降低20% 以上電阻，並在IEEE國際研討會及期刊上發表，之後他的研發腳步就未曾停歇，持續研發出各種創新技術，且每一年都有令人驚豔的成果，對公司和半導體產業皆有重大貢獻。在這其中他印象最深刻的是兩個專案：

其一是主導台積成為全世界第一家，將鈷黏著層及鈷覆蓋層導入後段金屬內連線製程中的半導體公司。要在既有的半導體製程中引入一個全世界都沒有人使用過的材料，新材料常常會遇到許多契合度與穩定度的瓶頸，他和所屬團隊逐一克服後，半導體的銅製程壽命得以延長，並獲得更好的製程與晶片表現。「這個專案不僅讓公司在半導體業界之後段製程，站上世界第一的領先位置，並將原本預期將被置換的銅製程延續了好幾個技術節點，省下數億美金的產能購置費用。」

其二，他也主導台積成為擁有全世界最低阻值的後段金屬內導線的半導體公司。「這個專案是一個跨組織的大型合作專案，其最大的挑戰是要克服過薄之擴散阻障層所產生之良率、可靠度、甚至製程整合之匹配度的問題。」在這個專案中不僅有許多獨到創意發想，更透過合作無間的跨部門研究及開發，成功為台積電打造出已被認可之全世界最低阻值的後段金屬內導線，這次的創新也讓晶片效能大幅提升了將近3%。

持續研發 保持公司領先地位

在技術面之外，紀志堅的研發魂也體現在公司內的環境、人才培育、資源整合等面向上，像是與台積內部的資訊部門合作，為研發人員打造量測數據雲端平台，將所有研發組織的實驗量測數據都自動上傳到此系統，讓同仁可以從單一介面中一次蒐集所需的所有實驗量測資料，改善工程師日常工作90% 的效率。此外他也與自動化部門共同開發實驗程式健檢系統，過去工程師需要花費大量時間交叉比對實驗結果，透過此平台可節省80% 的比對時間，並大幅減少60% 誤操作機率。在人才訓練部分，他為公司制定了訓練課程新標準，讓專業課程開課率成長10 倍、閱讀文獻數量增加3 倍，達到持續學習永續發展的人才培育概念。

對於未來規畫，他指出隨著製程節點微縮，技術上的挑戰與困難越來越巨大。「我很榮幸可以躬逢其盛參與許多重要的戰役。」未來他希望能保持初衷，協助台積繼續保有技術領先地位，他也將自己在職場上的信念與心態分享給有意進入此領域的後進者，「對萬物都要有強大的好奇心並且抱持樂觀態度，當好奇心獲得滿足，成就感也會隨之建立。」

得獎感言
台灣積體電路製造股份有限公司
先進設備暨模組發展處 紀志堅 經理

很榮幸且開心得到經濟部國家產業創新獎的殊榮。

首先，要感謝政府設立此國家級的獎項來鼓勵產業創新，以及評審委員及專家們對於志堅的肯定。此外，台積電章勳明副總/ 蔡明興處長/ 蘇鴻文資深經理等主管們的提點及鼓勵，更是志堅能獲得此獎背後的最大推手。

在台積的研發單位是非常幸福的，不僅聚集了一群志同道合的同仁，天天都激發出許多創意的發想，公司也提供了能夠施展抱負的舞台及豐富的資源，讓創新的點子有機會可以親手實現、親眼見證。

最後，我想將此獎的榮耀歸功於我深具革命情感的團隊同仁們，及默默在背後支持的家人們。在充滿挑戰的未來，我相信持續用好奇心來看待萬事萬物，很快地，我們終將再度品嚐到創新的甜美果實。

• 發布日期：2023/07/01
• 最後更新時間： 2024/05/06
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