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鄭雅如資深經理

積極務實的態度才能主動發掘問題、解決問題，讓你可以真正樂在工作。

鄭雅如資深經理
台灣積體電路製造股份有限公司
奈米製像技術發展處先進材料中心

創新菁英－女傑組

突破奈米製程極限鄭雅如打開半導體技術新局

從小就熱愛自然化學的鄭雅如，從大學時期就選擇了化學之路。之後的博士學位和職涯工作也都與此有關。2015 年離開IBM 研究單位進入台積公司後，她就接手當時被業界視為延續摩爾定律關鍵的7 奈米製程研發，她不僅成功克服挑戰，之後的7 奈米加強版、5 奈米製程及其加強版技術，也都在她與所屬的團隊手中完成，成功讓半導體技術進入新世代。

「已成為半導體技術領先指標的台積，其先進技術的開發能力，現在已位居全球產業領先地位，此一領先局面靠的是關鍵技術的掌握與持續創新，台積奈米製像技術發展處先進材料中心資深經理鄭雅如憑藉紮實的技術背景與豐富的研發經驗，從7 奈米和5 奈米，到現在的3 奈米與2 奈米製程研發過程中，都能提出獨到的見解，自極紫外光光阻之開發乃至整體微影材料前瞻技術的開發與配製，與生產和供應鏈的布局，克服各種艱困的挑戰。這些新創製程不但成功地延續了台積的技術領先地位，對全球半導體產業也有卓越貢獻。

堅持實用之路讓化學更入世

「在高中時第一次接觸週期表，我就覺得化學很美。」鄭雅如開頭的第一句話，會讓很多學生時代深受化學式「折磨」的人愣住，她接著解釋，「週期表背後是各種物理法則，這些自然法則和科學的秩序之美深深地吸引了我。」

從小就對自然科學有濃厚興趣的她，高中時期雖然也注重其他學科的學習，不過化學始終是她的最愛，因此大學前選填志願時，她毫不猶豫就選擇化學系，從臺大化學系、臺大化學研究所、麻省理工學院材料科學與工程研究所，她的就學之路從未離開這個學科。雖然喜歡化學，自己也一直在化學領域做研究，不過她一直認為學問應該要更入世一點，「我追求的是知識可用性，希望自已是一個了解材料原理並能解決問題的人，而不只是發學術論文，因此從學生時代就希望未來工作是以化學的實際應用為主。」

鄭雅如在麻省理工學院拿到博士後的第一個工作，雖然是進入以研究為主的IBM 研發團隊，不過這個團隊是以創新為主，並沒有嚴格規定旗下成員研發題目，只要是工程師真心想做，而且自認對人類、企業有幫助者IBM 都會支持。在這個階段，她學會如何自己建立一個研發領域、如何透過跨組織跨公司的合作，奠定新技術的理論基礎，並優化材料與製程，再進一步將新技術商業化。

在IBM 工作十年，因為家庭因素，2015 年她決定返臺，當時在台積工作的朋友覺得她的學經歷非常豐富，如果不在半導體非常可惜，鄭雅如自己也有意願繼續材料研發之路，因此就在朋友的引薦下到台積先進材料中心面試，開啟了她的半導體研發之路。

扮演關鍵角色引領技術創新

在台積期間，鄭雅如參與了7 奈米製程、5 奈米製程、3 奈米製程以及目前正在進行的2 奈米製程，不僅主導各種微影材料的研發，同時也規劃執行微影材料量產與其中的供應鏈管理，在半導體製程有著完整的歷練，在微影材料的開發上，她扮演了不可或缺的角色，不但研發出台積第一代量產所使用的極紫外光光阻，還成功開發出7 奈米製程與加強版、5 奈米製程與加強版中完整配套的上層、中層與底層材料，也因為在光阻材料的開發以及過去在半導體材料界的貢獻，讓她在2017 獲選為台積科技院科技委員，這是一項相當榮譽的頭銜，全台積獲該頭銜者不超過技術職人員的0.25%。

對於這些成就，鄭雅如一直強調不是她個人之功，而是整個團隊合作的成果，「我剛進台積的第一個感覺，就是這是一家執行力極高，而且強調團隊的企業。」她回憶起當年剛開始研發7 奈米製程加強版的過程，這個技術也是台積第一次引入極紫外光製像的技術，幾乎是只許成功不許失敗。

鄭雅如進一步解釋7 奈米製程加強版技術。她表示此技術就是像是相機的底片，光阻是紀錄微影成像的核心材料，極紫外光光阻必須在極少的光子數下完成更細緻、沒有缺陷的圖形解析，這是對光阻材料極大的挑戰。在極紫外光光阻開發期間，鄭雅如的團隊研發出許多相關光阻配方，並透過整個團隊的分工合作及努力，克服了製程上的困難，順利開發出台積專有的極紫外光製程，「我們是世界第一個成功開發出極紫外光光阻，並將之應用在生產線量產的團隊。」

極紫外光光阻的成功開發讓台積的7 奈米製程加強版可以率先採用極紫外光製程，使台積與客戶實際取得奈米製程微縮的好處，不過這次的成功並未讓鄭雅如停下腳步，因為半導體製程緊接著進入5 奈米時代。她指出5 奈米製程和5 奈米製程加強版開發上，尺寸微縮幅度挑戰比前幾世代更大，不管是成本、電性及良率，樣樣都需兼顧，「再加上時程上的壓力，困難程度是前所未有。」面對如此嚴峻的挑戰，鄭雅如和她的團隊仍然完成多項關鍵光阻技術，包含進一步提升光子的使用效率、精準調控光阻的形狀、以及中層與下層材料的新設計，讓5 奈米世代極紫外光的產能與良率得以大幅提升，並得到多數客戶採用。除了材料的開發之外，她也與採購團隊合作規劃並引導日本光阻供應商在臺灣設廠，生產最尖端的極紫外光光阻，進一步降低半導體製程的成本與風險，不僅使台積在臺灣的供應鏈更穩固，也使臺灣的半導體材料供應鏈在高階材料的布局更加完整。

持續接受挑戰維持領先地位

儘管克服了7 奈米和5 奈米的嚴苛挑戰，但鄭雅如的腳步並未停歇，現在正著手進行的3 奈米與2 奈米的微影材料開發，這兩個微影製程是目前全世界半導體技術開發中，最尖端、最高難度，更是挑戰摩爾定律極限的計畫。除了持續與美國、日本、與國內的供應廠商共同開發主流的微影材料，她的團隊也布局遠程技術，包括金屬光阻與光阻模擬，並建立與新興光阻廠商和臺灣學術界深度合作的關係。

從當初一位熱愛化學的年輕學子，到現在帶著團隊突破物理極限再創半導體製程高峰的頂尖工程師，鄭雅如的成就鼓舞了身邊的人，如今半導體已成為臺灣多數年輕人就業的第一選擇，至於如何在這個產業取得成功？她認為專業基礎和積極態度心態是兩大關鍵，「紮實的基礎讓你站穩腳步，積極心態則能讓你邁開腳步往前走，並且願意獨立自主地解決問題。」至於她自己的未來，鄭雅如則希望以7 奈米、5 奈米製程的經驗與知識為基礎，持續達成設定的目標，讓台積在競爭日益激烈的國際半導體產業中，維持技術領先地位，並鞏固臺灣半導體工業產值和國家競爭力。

得獎感言
台灣積體電路製造股份有限公司
奈米製像技術發展處先進材料中心鄭雅如資深經理

很榮幸地得到這個獎項。除了要謝謝評審團隊的肯定，更要感謝支持栽培我的主管、同事、以及一路陪伴的家人們。可以與一群熱忱、傑出而且超級有執行力與創意的老闆與夥伴們，一同面對各種挑戰與困難並完成任務，實在是很幸福的事。特別感謝公司與協力廠商所投入的研發資源，讓我們團隊可以一起完成過往別人認為不可能的任務。

我只是站在巨人的肩膀上，願這份榮耀歸給我的夥伴與團隊。