王美勻 副處長
 |
「一定要跨出去那一步，很多事情就是你不做，就完全沒有機會成功。」 台積電5 奈米平台研發處 副處長 王美勻 在台積公司服務21年，跨越十個世代的製程，王美勻的成長軌跡與公司同步，從0.25微米製程走到5 奈米，都有王美勻的創新足跡。期間不但成為台積公司矽化鎳製程的第一人，也在積體電路新世代中段製程的開發上，扮演關鍵角色。除了紮實的研發功底，王美勻靠軟性的溝通力凝結團隊，為臺灣打造世界最強晶片。 |
用「軟」溝通拼「硬」研發 女力推動世界最強晶片
創新菁英－女傑組
王美勻 副處長
台灣積體電路製造股份有限公司5奈米平台研發處
2018年史上第一次，全世界最強的晶片，不是來自英特爾，而是來自台積公司。這一年，台積公司以7奈米製程晶片，超越英特爾的10 奈米製程。台積公司團隊能一再挑戰技術極限、延伸摩爾定律，靠的是一群不斷自我挑戰的精實團隊。
在台積公司服務21年，從0.25微米製程走到5 奈米，跨越十個世代的製程，台積公司5 奈米製程整合二部副處長王美勻，成長的軌跡與公司同步，從模組工程開發至製程整合，她有著完整的歷練。
「在台積公司工作的好處，就是不斷有新事物可以自我挑戰，」入行已久，聊到工作上的任務與創新，王美勻眼神仍閃閃發光，充滿熱忱。
總是追求新挑戰的王美勻，在積體電路製程的創新上戰功顯赫。期間不但研發了台積公司第一代的矽化鎳製程，也在積體電路新世代中段製程的開發上，扮演著不可或缺的關鍵角色，獲得2019 年產業創新獎「創新菁英」的肯定。
扎根基礎研究 首創矽化鎳製程
大學時期就讀臺大化工系，大四時的王美勻開始接觸材料所的專題，迷上這個探索事物本質的科學，於是選擇投入臺大材料所的懷抱。「研究材料，需要去探索許多你根本不知道的材料結構，」對於喜歡追求新事物與新刺激的王美勻來說，在材料領域找到新天地，這段在實驗室的日子，也為未來她在積體電路的創新研究，打下基礎。
1997年進入台積公司，王美勻自0.25微米製程開始，擔任模組研發工程師。在模組工作期間，王美勻提出許多相關專利，克服了製程上低良率的問題。在65 奈米製程的研發階段，更成為台積公司第一位將矽化鎳製程開發成功，並推上生產線量產的關鍵角色。
「那時在製程上有低溫的需求，又要達到低漏電與低阻值的條件，那是公司第一次選用反應溫度低的『矽化鎳』當作材料，」當時大家對於矽化鎳材料特性都還不了解，王美勻有整整半年的時間泡在實驗室裡，像是回到學生時期，她把晶片切成小格，放進燒杯研究，用基礎實驗的方式逐步建構對材料的認識。
即使有學術文件參考，但學校的研究場域與工廠的製程環境相差太多。在一點一滴掌握矽化鎳的特性後，王美勻帶領團隊，成功建立包含矽表面清潔、金屬濺鍍回火、以及選擇性蝕刻等基本製程，也完成關鍵製程的設計，解決了漏電的問題，使得台積在65 奈米可以率先採用低溫矽化鎳製程，克服了高溫製程引發的問題，也得到高效能的元件特性，且在過程中建立了研發矽化物的標準化流程，為台積公司在矽化物的開發上樹立了規範。
不斷挑戰自我 從研發走向整合
當製程往40奈米邁進，矽化鎳遭遇瓶頸，王美勻更提出一項創新表面處理技術，成功克服表面清潔不易及矽化鎳缺陷的問題，使得矽化鎳製程得以順利延續。
矽化鎳一戰成名，隨著製程的推進，王美勻在模組研發領域累積深厚功力。在擅長的領域待久了，求新求變的王美勻反而覺得卡關，於是在當時的長官曹敏( 現台積電副總) 的安排下，她在20 奈米開發時期轉調「製程整合」部門。
「過去在『模組研發』部門，是縱向深入鑽研特定製程，轉任『製程整合』部門，是橫向合作與串接，有機會了解更多製程面向，」王美勻回想，當時到了新的工作單位，負責研發新製程，主管還指派她嘗試新的工作模式「工作集團」（working group），在技術、工作職能與形態上，面臨全新挑戰。
20奈米製程開發不易，又得在短時間內迎接許多挑戰，一開始許多前輩並不看好，紛紛勸退。「但很多事情就是你不做，就完全沒有機會成功，」多方搜集建議，研究評估後，王美勻還是接下任務。
為追趕國際大廠進度，台積公司改變以往的研發模式，新的「工作集團」型態，橫跨「製程整合」、「模組開發」與「元件分析」部門，組成變形蟲團隊。每週固定會議，在資源分配、實驗設計與結果分析等工作，不斷對焦進度與目標、隨時微調方向，期望在短時間內 能有效地開發新技術，王美勻便是金屬零層工作集團的負責人。
柔性溝通 用女力串連團隊
從領導縱向研發，轉為主導橫向連結的領導人，王美勻發現了自己更多的溝通面向與可能性。「感謝林學仕處長當時安排資深處長張麗絲成為我的mentor，他們兩位都是我的榜樣。」在男性為多數的半導體研發領域，王美勻更因此謙卑，學會了如何發揮女性柔軟的溝通能力。
王美勻的領導不走權威路線，她選擇傾聽不同的意見，然後耐心溝通每個環節。「台積公司是個高手雲集的地方，當共識一旦建立，大家瞄準同一個方向，就會前進很快，」王美勻笑著說，「自己常在會議之前，走到同事座位上，先做資訊交流與意見溝通，在會議現場，常常就能快速進入決策、達成共識。」
「從前在模組研發的領域，我只想著把自己的部分做到最好，」轉換角色成為協調者，王美勻發現自己的思維變了，現在看的不是單一的模組好不好做，而是所有模組是不是做得起來，王美勻譬喻，「以前追求單一模組一百分，現在則是追求整體表現一百分，對單一模組不完美的部分，要從其他地方去做調整搭配，追求整體表現的最高分。」
在高壓中突圍 找到更好的自己
不斷跨出舒適圈，王美勻在不同領域與製程創新裡挑戰自我，成功開發出20、10及5奈米整個中段製程。
過程中不乏難走的路，曾經在10奈米製程開發上，王美勻選擇了新的方向，成功可以為公司省下成本，創造更高的產品可靠度，但一旦不成，整個10 奈米就是宣告失敗。走過這段在高壓中突圍的路，王美勻才知道自己能有多大的抗壓性，也從身邊的人身上獲得滿滿的愛與支持。
「我很感謝遇到很棒的團隊，還有非常支持我的家人，」王美勻的創新與前進，不只推動科技演進，也不斷找到更好的自己。
感言：台積電5奈米平台研發處 副處長 王美勻
很榮幸地得到這個獎項。除了要謝謝評審團隊的肯定，更要感謝一路支持我的長官、同事、以及在背後默默陪伴我的家人們。
能在台積電這個優質環境中，與一群熱忱傑出且志同道合的夥伴們，共同完成了許多不可能的任務，是一件很幸福的事。雖然期間有許多面對壓力及挫折失敗的艱難過程，但因著新構思而解決問題的成就感、團隊胼手胝足的革命情感與默契、長官們的鼓勵與信任，都在在支持著我，繼續努力向前。
可見的未來仍充滿無限挑戰，憑藉著累積各世代的經驗與不斷地創新思考，我們依然會從容以對。
圖片列表
相關連結
- 發布日期：2023/07/08
- 最後更新時間： 2024/04/29
- 點閱次數：243