奇鼎科技股份有限公司

績優創新企業－中小企業組

自主開發環境精密控制設備 匹敵世界大廠

1990年代，臺灣高科技產業起飛，創造出一條條高經濟價值產業鏈，其中，臺灣半導體開始在世界舞台上嶄露頭角，對於製造環境的精密控制需求也愈來愈高，奇鼎科技因應而生。經過20年努力，與臺灣半導體產業共同成長，奇鼎科技已成為臺灣唯一能與歐美日一流廠商匹敵的精密環境控制設備製造商。

臺灣半導體產業發展至今傲視全球，在晶圓製造這個環節，良率高低決定了競爭的幼勝劣敗。台晶圓生產良率受到許多環境影響，包括溫/溼度、潔淨度、氣態分子污染物（Airborne Molecular Contamination；AMC）等，這些因素都會影響晶圓的蝕刻或顯影效果，因此，半導體製程環境的精密控制是個重要議題，須靠專業設備與技術來支持。

早期，臺灣購買精密溫控設備只能仰仗日本、德國等外國廠商供應，當時奇鼎科技董事長鄭智文便觀察到，隨著臺灣半導體產業發展愈趨成熟，環境精密控制的需求將會愈來愈多，於是眼光精準的鄭智文建議原任職企業老闆投資研發，卻沒有獲得太大支持，後來他便召集了3位志同道合的夥伴一起創業。

成立於2003年的奇鼎科技，以提供專業無塵室建置工程服務起家，主要營業項目是為臺灣高科技廠商從國外引進無塵室設備，並協助客戶裝機、後續維修等相關工作，當時因為臺灣半導體產業飛快發展，奇鼎一成立即取得穩定客源，「但錢賺得快，不一定賺得久。」鄭智文指出。

環顧市場環境，鄭智文認為，企業一定要自己掌握技術，自己生產機台，更能走向永續經營。於是2006年，奇鼎決定加碼投資成立研發部門，「公司才不會一直陷入與其他廠商拼價格的狀態。」奇鼎科技副總經理柯安直言，後來奇鼎開始調整經營主調，轉型為做工程與自主研發設備同時並進，也因此創造出奇鼎能夠領先市場的關鍵利基。

自己做設備 創造世界第一

產出「自己做設備』的念頭後，奇鼎內部上下員工的腦袋，都像是裝了一顆啟動引擎般，所有人一起動起來，為的都是出自己生產的貨。奮鬥20年來，奇鼎一路不斷超越原先設定之目標，創造出許多臺灣或世界第一。

2007年，奇鼎率先自主研發出第一台國產化製程精密溫控機組賣給半導體封裝測試大廠，為臺灣自主研發環境精密控制設備跨出一大步，之後奇鼎不斷改良技術，目前其製程精密溫溼度控制機組，已可達到全球精準度最高標準－溫差±0.01℃與相對溼度RH±0.5%（Relative Humidity），因技術備受肯定，至今也已累積835台以上的裝機實蹟。同時，精益求精的奇鼎已將極精密溫度±0.001℃列為研發目標，預期技術排名將衝上全球第一。

研發腳步不停歇，奇鼎不斷擴展自主研發範疇。2009年，奇鼎又自主研發inline有機分析儀賣給半導體製造大廠，而且奇鼎突破以往做法，是全球第一次將實驗室內使用的氣相層析質譜儀GC-MS（Chromatography-Mass Spectrometry；GC-MS）設置在生產現場，做成半導體製程線上精密量測儀器，這項成果對台積電與全球半導體產業而言，都是新嘗試。

後來這項成果連帶開啟奇鼎對AMC監控的研發投入與專業提升。由於AMC會導致晶圓報廢，全球半導體廠商亟欲解決這項問題。奇鼎先從AMC分析著手，再投入AMC去除技術研究，經過不斷試驗，2012年，奇鼎生產出全球第一台長效型AMC去除設備賣給臺灣面板製造大廠，做為曝光機鏡組霧化保護之用。

這當中奇鼎又一次突破技術框架，利用獨家的水洗技術，讓設備不必使用濾網等高成本耗材，即可24小時高效率地去除製程AMC，且去除率超過80到90％，可去除多樣性的化學品與有機物，加上設備可利用回收再生水進行水洗，因此這套機組不僅可提供有效保護，還可協助客戶節省成本。

2021年，奇鼎再開發出第一台國產化洗滌塔（Wet Scrubber），這台機器具有高去除率與低耗水量等功效，不僅破除了德商壟斷臺灣市場的狀況，還可進一步改善半導體產業空污等問題。

砸下大筆資源 建立各種實驗室

細數這些臺灣或世界第一，柯安指出，奇鼎能從原本靠外部支援設備，到自主化開發關鍵技術，可說是一段加碼再加碼的研發過程，他笑說：「奇鼎真是不惜時間與金錢去建構關鍵技術。」

從根本做起，起初奇鼎開發設備，都要靠外部技術做氣流、熱流等模擬試驗，後來奇鼎決定自行導入熱流模擬軟體，也自己培養熱流工程師，並成立精密空調研發部，負責進行熱流、節能與精密控制之研發，如此一來，便可縮短為客戶設計設備的模擬時間，進而縮短機組生產時程。

為發展關鍵技術，奇鼎也不惜砸資陸續成立不同功能的實驗室，譬如成立化學分析實驗室，柯安指出：「你必須從源頭了解各種化學成份特性，才能解決它，讓它不再來干擾製程。」為此，奇鼎建立一支專業的化學分析團隊，負責分析不同環境中存在哪些化學污染物、為何存在、其特性為何，及如何讓這些氣態污染物更溶於水，更利於水洗去除等。

此外，奇鼎成立外氣實驗室，可以全尺寸（full size）實際模擬與驗證機台，目的是讓設備出廠前，能夠更有效地進行污染物去除率測試，並減少設備進到客戶廠房後的出錯率。同時，這對奇鼎的設備與材料研發改良亦有極大助益。

目前奇鼎還正在成立精密儀器校正實驗室，期盼建置出臺灣最高精度的溫度與溼度精密校正系統，對此，柯安苦笑說：「業界對臺灣生產機台的容錯率，相較外商來得低。」有些業者認為既然臺廠想自己做設備，就要有本事做得比國外好，促使奇鼎更加仔細進行機台出廠前的所有試驗工作。

結合國際系統商 打進歐美日供應鏈

致力自主開發技術同時，近年來奇鼎亦發揮國際即戰力，積極與歐洲、美國、日本等半導體系統供應商展開策略合作，將奇鼎的環境控制機組結合策略夥伴的曝光機、顯影機、塗佈機等製程設備銷售給終端客戶，藉此逐步打進歐美日半導體設備供應鏈行列。

談起與歐美日一流半導體設備大廠策略合作的過程，柯安指出，奇鼎主要掌握了三項服務優勢，包括提供全面性、客製化與快速的服務。

以提供曝光機全面性服務來看，奇鼎生產的設備除了可提供潔淨、精密溫/溼度控制技術，還可做到AMC分析、去除，這是其他競爭對手很難做到的，這當中也顯現出奇鼎的客製化能量，「我們可針對客戶的整體或個別需求，提供total solution（完整解決方案）。」柯安說。

譬如10年前，面板客戶曾向奇鼎反映曝光機使用一段時間後，會產生鏡組和燈面霧化，及零組件腐蝕等問題，過去作法都是讓客戶不停地更換濾網來解決，但如此一來，就會增加生產成本。為幫客戶解決難題，奇鼎團隊絞盡腦汁想方法，後來研發出曝光機鏡組霧化防護機組，使用長效型材料來去除AMC。

像這樣的研發故事不斷在奇鼎內部上演，因為奇鼎的團隊不若歐美日等一流大廠之組織龐大，加上臺灣人特有的靈活特質，促使奇鼎經常可針對客戶需求或困擾做出快速反應，想出解決辦法，譬如之前奇鼎曾只花了1年時間就做出符合某大廠客戶需求的機台，比德商快2到3年。

對此，柯安補充談到，奇鼎的主要客戶分成兩種，一種是屬於終端使用者的高科技廠商，需要奇鼎為他們直接解決生產現場的問題，在這當中，客製化能力就是奇鼎的生存利基。另一種客戶則是全球半導體製程設備或系統大廠，奇鼎為其提供精密溫/溼度、AMC控制技術與設備，這當中，奇鼎就必須展現出其最先進、最專業、最具效率的研發與生產能力。

深耕淨零排碳 綠電自發自用

在奇鼎，追求創新的血液由上而下串流，因應世界發展趨勢，近年奇鼎也正在進行一項大工程－發展自給自足的綠電。

柯安指出，目前奇鼎除了為客戶開發節能設備，及在開發設備時考量節能減碳等功能之外，奇鼎也已經自己建置了數個太陽能光電廠，並產出綠電自用，2023年綠電使用已佔企業整體用電量11％，預計2025年將達100％。

奇鼎也早已和綠色和平基金會宣示，將在2030年100％使用再生能源，這是臺灣第一家宣示RE100的本土設備製造商。同時，奇鼎也已經在2022年12月，完成第一次碳盤查與查證，比金管會規定的2029年全體上市櫃須完成的時程提早7年，2023年6月也已取得產品碳足跡查證。

成立20年，員工數從4人創業小組成長至今120人，平均年齡不到38歲，而研發團隊則占整體員工4分之1。年輕團隊的優勢是充滿活力與拼勁，劣勢卻是經驗不足，為此，鄭智文與柯安都不斷鼓勵研發團隊要走出實驗室；走進客戶的無塵室，並走向市場，「這樣才能真正開發出客戶要的產品。」鄭智文指出。

位居新竹科學園區外圍的新竹縣鳳山工業區，柯安坦言，受到高科技產業的吸磁效應，奇鼎招才並不易，但人才來了就能漸漸認同企業，「且年輕員工來到這裡可真實感受到，自己開發的產品受到客戶肯定的成就感。」柯安笑說，這份成就感是進入科技大廠很難體會到的。

向外界發出人才號召令，奇鼎將繼續帶著這份高研發能量走向世界舞台，讓更多科技大廠肯定「臺灣研發製造」的價值。

品牌秘笈

• ● 自主開發技術與設備：追求世界一流技術水準，目前其溫/ 溼度控制設備標準已達世界最精密的溫差±0.01℃與RH±0.5%，並將極精密溫度±0.001℃列為研發目標，預計技術排名將衝上全球第一。
• ● 成立專業實驗室：包括化學分析、外氣、精密儀器校正等實驗室，全力發展關鍵核心技術，輔助設備開發之效能。
• ● 掌握三優勢：包括全面性、客製化、快速反應等發展優勢。
• ● 策略合作開啟國際市場：結合國際設備製造商進行策略合作，攜手打進歐美半導體設備供應鏈行列。

得獎感言－奇鼎科技(股)公司 柯安 副總經理

感謝經濟部國家產業創新獎評審委員的肯定，奇鼎致力提供高精密製程微環境控制、與節能減碳方案給高科技製造業，希望在環境穩定與良率提升方面，成為半導體產業的堅強後盾。

也很感謝經濟部技術司A+研發中心計畫的補助，讓我們順利聘用到優秀的碩博士人才，建立更完善的研發流程制度，並產出優秀的專利技術成果。

此次榮獲殊榮，對奇鼎是莫大的鼓舞，我們將持之以恆，為全世界最精密製程提供最佳的製程環境，並協助企業及國家達成碳平衡。

圖片列表

第八屆-產創專輯_耀登科技

• 發布日期：2024/01/30
• 最後更新時間： 2024/04/26
• 點閱次數：328