陳華豐 台積科技委員/ 副處長
台灣積體電路製造股份有限公司14埃米平台技術

創新菁英－女傑組

懷抱強烈好奇心及研發熱情 推進半導體製程技術

從16奈米、7奈米到3奈米，陳華豐在每個新技術世代中皆扮演關鍵角色，負責重要的技術開發工作。她在前段、中段製程，以及良率改善和元件效能提升等不同領域的轉換中表現出色，總是能夠提出獨到見解，面對各種艱困的挑戰，不斷地創新並勇於實踐。這些製程的突破，成功地延續了台積公司的技術領先，進一步鞏固臺灣半導體業的國際地位。

半導體製程的進步，猶如一場沒有終點的馬拉松比賽。在這場永無止盡的競爭中，人才，絕對是台積公司得以始終維持領先地位的關鍵之一，台積現任14埃米平台技術組織副處長陳華豐便是其中一員驍勇戰將。

她經歷0.13微米、90米、65奈米、28奈米、16奈米、7奈米、3奈米共7個世代，期間不僅研發第一代銅製程、第一代矽化鎳製程、第一代鰭式場效電晶體，更成功開發出7奈米整個中段製程、3奈米前段製程及3奈米加強版。

挑戰最困難中段製程 堅持不懈

自16奈米開始，陳華豐便擔任專案小組（Working Group）負責人，領導16奈米、7奈米及3奈米前、中段製程開發。當被問及最感艱難的任務，陳華豐表示，「所有任務的難度皆不低，但相較之下，7奈米製程研發的確最具挑戰性。」

現在的7奈米製程已有極紫外光刻（EUV）曝光系統可以使用，不成問題。然而，回到陳華豐被賦予研發重責的當下，EUV曝光系統尚未成熟，因此她得帶領團隊使用深紫外光刻（DUV）沉浸式曝光和多重曝光技術來進行中段製程，這使得一切變得極端複雜，並且不利於良率的達成。

此外，這個任務之所以挑戰性高，還在於陳華豐此前是從事前段製程開發，這次卻被指派從前段轉戰至7奈米最困難的中段製程，她必須帶領團隊不斷思考新的製程結構和製造流程，以克服機台設備和曝光技術的限制。

不過，陳華豐終究做到了。與陳華豐共事多年的潘國華處長形容陳華豐，「她擁有堅持到底和不服輸的精神，一定會想盡辦法達到目標，且擁有強烈的求知欲和對技術的熱情，這些特質讓她能夠不斷創新，克服許多技術挑戰，在研發方面取得很好的成果。」

及時推進製程 引領創新應用爆發

在堅持不懈的努力下，陳華豐提出一套創新的微影製程技術，將已非常成熟卻從未用在微影製程的技術與既有的微影製程技術做結合，這是前所未有的創新，大幅簡化了原本複雜的製造流程和對製造控制的要求。

此外，陳華豐團隊還利用創新的光學鄰近修正技術對接觸窗佈局進行分類拆解和圖形修正，並重新分配到多重曝光所使用的光罩上，再結合特定蝕刻製程，使每個接觸窗圖形都得到最佳化的製造。這項技術不僅是極紫外光刻技術之前的微影成型技術的極致表現，並且加速了7奈米良率的提升速度。

這些努力提高了良率和元件效能，使得台積成為第一家推出7奈米技術的公司，取得領先地位。「科技發展總是以不可思議的速度向前邁進，而且在外部競爭對手的追趕下，我們也不能允許自己落後。」陳華豐談到研發半導體製程技術的壓力來源，而另一個同等重要的推動力，則是來自於客戶需求，「客戶有既定的產品上市時間表，為了符合這個時程，我們經常需要同時進行兩個世代的製程研發，進度不容延遲。」

7奈米FinFET的高邏輯閘密度和高效能，為各種行動應用、高效能運算、人工智慧（AI）甚至5G的實現，帶來了爆炸性的影響，這也是各大IC設計公司首次能夠使用半導體業界最先進的製程技術來設計產品。台積公司因此榮獲2021年「IEEE企業創新獎」的肯定。

喜歡思考及探索 享受研發樂趣

在半導體技術的世代推進過程中，壓力想必極大，然而，陳華豐卻不以為苦，「我很喜歡思考不懂的事情，很享受探索答案的過程。」在他人眼中，陳華豐的確就是如此，潘國華表示，「她充滿好奇心，經常提出疑問，總是想要了解事情的本質，才能透澈地擁有大局觀。」

因為好奇，陳華豐幾乎無時無刻不在思考，「我常在騎車或跑步時靈光一閃，想到解決問題的方法，我想這是我能夠一次次解決任務難題的原因所在，就是非常享受研發工作的樂趣。」

從工程師到領導者 傾聽同仁心聲

為了加速技術開發速度，從20奈米開始，台積開始以專案團隊（Working Group）型態跨部門整合相關人員及資源，於短時間內開發新技術。這種專案團隊的工作模式，透過定期集合各部門代表於共同討論和解決問題，能夠讓所有相關成員能全盤瞭解專案的進行情況，同時也能更清楚地理解各自的角色和責任。

「每一個微小的改變都可能引發巨大的影響，以專案團隊運作，我們能夠快速地應對變化，並在最短的時間內找到最佳的解決方案。」做為專案小組負責人，陳華豐必須提升溝通效率，以促進團隊之間的協作。

「創造一個開放、讓同事可以安心提出意見的工作環境，這對於我們的工作是很重要的。」陳華豐定期與同仁面談，藉此鼓勵他們提出自己的想法、疑慮或困難。曾有一位團隊成員對於會議進行方式提出質疑，希望能夠設定更明確的討論目標和時間限制，以提高會議效率，「我認真聽取並立刻在下一次會議做出改變，這不僅改善了效率，也讓團隊成員明白，他們的意見是被重視的。」

從工程師到團隊領導者，潘國華明顯觀察到陳華豐的改變，「隨著職務晉升與角色改變，她對於不同意見更有包容力及同理心，處事更為圓融，蛻變為非常成熟的領導者。」

推動友善職場 號召女性加入科技業

陳華豐目前已完成3奈米加強版的製程開發，並取得了良好的成果，無論是在成本、元件性能、功耗還是良率方面，皆領先於原訂目標，並接續往14埃米研發路上前進。

除了致力維持台積在國際半導體產業的技術領先地位，她並在百忙中投入友善職場和校園徵才活動，「我想讓更多女學生了解科技業的潛力和機會，讓她們知道，在科技產業領域中，任何性別都能夠憑藉技術實力和專業能力贏得他人的認同、尊重。」以自己為例號召女性投入科技業，陳華豐衷心期待在半導體產業看到更多的女性工程師及領導者。

得獎感言－陳華豐 台積科技委員/ 副處長

感謝政府對產業創新的鼓勵，還有經濟部產業創新獎工作小組與評審委員們的辛勞，承蒙評審先進的厚愛與肯定，有幸獲得此一殊榮，倍感榮幸且開心。

從一開始進入半導體產業的懵懂，憑著對研發的熱情不停地吸收學習、精益求精，到開始能夠貢獻一己之力，感謝主管吳顯揚副總給予極大的空間讓我能將創新的想法付諸實現，是華豐榮獲此獎背後的最大推手。能在台積這個世界級的半導體研發環境中，與一群具有高度熱忱、優秀傑出且志同道合的夥伴，激發創意並一起突破困難與挑戰，是一件非常享受且美好的事，我想將此獎的榮耀歸功於我深具革命情感的研發團隊同仁們。

最後感謝我的兄妹的支持，讓我無後顧之憂，能在創新研發這條路上全力衝刺。在充滿挑戰的未來，我仍將秉持初心，繼續為半導體產業的創新突破貢獻一己之力。

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第八屆-產創專輯_陳華豐

• 發布日期：2024/02/05
• 最後更新時間： 2024/04/26
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