「浸潤式微影之父」林本堅是台灣半導體產業領先國際的關鍵推手，成功把摩爾定律推進六個世代，影響全球半導體的技術發展，並讓台積電首次主導業界規格，成為世界領先者，憑藉在台灣半導體產業的貢獻，林本堅榮獲第六屆總統創新獎。本集《全新一週》邀請中研院院士、清華大學半導體研究學院特聘研究講座教授、台積電前研發副總經理林本堅，分享如何以 22 年前研發「浸潤式微影、用水當介質、搭配 193 奈米」的技術，在當年助台積電突破成像瓶頸，顛覆整個產業界，驚豔全世界？

完整報導：科技報橘

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6throc+林本堅教授

• 發布日期：2024/10/04
• 最後更新時間： 2025/01/07
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